• ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°
  • ΠšΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ‚Π°Ρ†ΠΈΡ производства ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ
  • КомплСксная поставка микроэлСктронных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²
+7(342)203-78-58
Π’Π΅Ρ….ΠΎΡ‚Π΄: +7-922-308-78-81

F theta Π»ΠΈΠ½Π·Π°: F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹

ΠžΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ: 26.11.2022 Π² 03:33

Автор:

ΠšΠ°Ρ‚Π΅Π³ΠΎΡ€ΠΈΠΈ: ΠŸΠΎΠΏΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎΠ΅

F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹

Π”Π°Ρ‚Π° ΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ: 23.08.2019 13:00

FTheta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹

F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ для ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ точности Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… систСм, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ систСм Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Π³Ρ€Π°Π²ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡Π΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².Β ΠŸΡ€ΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Π³Ρ€Π°Π²ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΌ сканировании, Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ±ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² плоском ΠΏΠΎΠ»Π΅. БфСричСскиС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ строят изобраТСния Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² ΠΊΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ плоскости (рис. 1А). Π‘ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ с плоским ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΌ Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ эту ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡƒ, ΠΏΡ€ΠΈ этом смСщСниС Π»ΡƒΡ‡Π° зависит ΠΎΡ‚ произвСдСния эффСктивного фокусного расстояния f Π½Π° тангСнс ΡƒΠ³Π»Π° отклонСния ΞΈ (рис. 1B).Β Π₯отя Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ΅ смСщСниС ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ высчитано с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ обСспСчСния, ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ считаСтся Π²Ρ‹Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ смСщСния, Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ постоянной скорости сканирования. Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°ΠΌΠΈ F-Theta ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π±ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌ искаТСниСм ΠΈ прямо ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΊ ΡƒΠ³Π»Ρƒ отклонСния смСщСниСм (Рис. 1C). Π­Ρ‚Π° ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ устраняСт Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ слоТной элСктронной ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ появляСтся Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΡƒΡŽ, ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΡƒΡŽ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ систСму сканирования.

Рисунок 1. Π‘ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹: А – сфСричСская Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹, Π’ – ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ² с плоским ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΌ, Π‘ – F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²

F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ мноТСство Π·Π°Π΄Π°Ρ‡, связанных с Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ сканированиСм. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΎΠ½ΠΈ благодаря своСй конструкции ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ количСство оптичСских ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π² систСмС, Π³Π΄Π΅ трСбуСтся плоскоС ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ пятна, ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ сканировании ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π³Ρ€Π°Π²ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ сваркС. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ постоянны Π½Π° всСй плоскости изобраТСния.

Установка ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ²

Π›Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ систСмы ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ для Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ контроля Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Ρ„ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ пятна Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ позиционирования. Π’ основном Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ систСмы оснащСны ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ двумя ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, Π² зависимости ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° установки. НапримСр, Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ систСмС Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ΅ F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°. Π’ систСмС с ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠΉ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΎΠΊ F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ°Ρ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π° достигаСтся ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ расстояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ.

Π₯арактСристики ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ²

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ пятна, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ поля сканирования. ΠžΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡ€ этих ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŽ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠ΅ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ систСмы: Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°, ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°, ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅.
Β 

Рисунок 2. ΠšΡ€ΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Π° поля (%) ΠΈ искаТСниС F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π° (ΠΌΠΌ) Π² зависимости ΠΎΡ‚ ΡƒΠ³Π»Π° отклонСния (ΠΎ)

Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ поля сканирования (ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° сканирования) – Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ области Π² плоскости изобраТСния, Π³Π΄Π΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ сфокусирован ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΌ. Π­Ρ‚Π° ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ позволяСт ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ (ΠΏΠΎ всСму фокусному Ρ€Π°ΡΡΡ‚ΠΎΡΠ½ΠΈΡŽ). Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡƒΠ³ΠΎΠ» сканирования – ΡƒΠ³ΠΎΠ» ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ, ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠΌ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ², ΠΈ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΡŽ ΠΊ плоскости Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡƒΠ³ΠΎΠ» сканирования мСняСтся ΠΏΠΎ полю, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΅Π³ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎ. Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ³ΠΎΠ» Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ сканирования всСгда Π½ΡƒΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ Ρƒ тСлСцСнтричСских ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ². ΠžΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ фокусноС расстояниС – расстояниС ΠΎΡ‚ Π²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ (физичСской) Π΄ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ фокусировки. ΠžΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π΅ расстояниС – расстояниС ΠΎΡ‚ корпуса ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π° Π΄ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ фокусировки.

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ стоит ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅, являСтся ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Π° поля. F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ для создания плоского поля Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π½Π° ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, вносимыС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ. На рис. 2 Π² качСствС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ‹ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊΠΈ для F-Theta ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π° Thorlabs FTh200-1064, фокусноС расстояниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ 100 ΠΌΠΌ, Π° ΡƒΠ³ΠΎΠ» отклонСния составляСт 28ΠΎ. Из рисунка Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Π° поля (ΠΌΠΌ) ΠΈ искаТСниС (%) ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΡƒΠ³Π»Π° сканирования. ΠŸΡ€ΠΈ конструировании ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… систСм ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ Π½ΡƒΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Ρ‹ Π² сСрСдинС Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° сканирования, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ дальнСйшСй Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅.

Π‘Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅

Как Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΎ Ρ€Π°Π½Π΅Π΅, Ρ†Π΅Π»ΡŒ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ систСмы – созданиС подходящСго Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° пятна, с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ достигаСтся Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ всСму полю изобраТСния. Для ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ пятна Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ интСнсивности 1/e2 рассчитываСтся Π² соотвСтствии с ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ:

Β  Β  Β  Β  (1)

Π³Π΄Π΅ Ξ» – Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ источника, f – эффСктивноС фокусноС расстояниС ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°, A – Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°, C – нСкоторая константа, вычисляСмая ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ стСпСни освСщСния Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ° ΠΊ ΡƒΡΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° Π½Π° Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ (для гауссовых ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ² C = 1.83, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ усСкаСтся ΠΏΠΎ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΡŽ 1/e2).

ЀокусноС расстояниС Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ влияСт Π½Π° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ поля сканирования, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ рассчитываСтся ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅:

Β  Β  Β  Β  (2)

Π³Π΄Π΅ L – диагональ ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ области поля сканирования, ΞΈ – наибольший ΡƒΠ³ΠΎΠ» отклонСния Π² Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ°Π½Π°Ρ…, f – эффСктивноС фокусноС расстояниС ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°.

Π‘ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡƒΠ³Π»Π° отклонСния, фокусноС расстояниС систСмы ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространСнный ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΡŽ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ сканирования, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΎΠ½ прСдоставляСт Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ оптичСских ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² свою ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ позволяСт Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ с Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΈ экономичСски эффСктивной систСмой. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, искаТСния, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π½Π΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π», Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ сниТСны, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ эти искаТСния Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ фокусным расстояниСм (мСньшСС фокусноС расстояниС сниТаСт искаТСния).

Β 

Β© Thorlabs Inc.

Компания INSCIENCEΒ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ‚ своим Π·Π°ΠΊΠ°Π·Ρ‡ΠΈΠΊΠ°ΠΌ Ρ€Π΅ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒΒ Π»ΡŽΠ±Ρ‹Π΅Β Π²ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡΡ‹Β ΠΈ потрСбности по продукции ThorlabsΒ Π½Π° Ρ‚Π΅Ρ€Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ Π Π€

Β 

Β 

TYDEX: Π’Π“Ρ† асфСричСскиС f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹

    org/BreadcrumbList»>

  1. Главная
  2. ΠŸΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹
  3. Π’Π“Ρ† ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ°
  4. Π’Π“Ρ† асфСричСскиС f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹


Π‘ΠΊΠ°Ρ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΡŽ Π’Π“Ρ† асфСричСскиС f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ (PDF, 752 KB)

Π£ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… сфСрах Ρ‚Π΅Ρ€Π°Π³Π΅Ρ€Ρ†ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. Π“Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΎΠ½ΠΎ осущСствляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ параболичСских Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈ сфСричСских Π»ΠΈΠ½Π·. Однако, вмСсто послСдних для фокусировки излучСния Π² систСмах Ρ‚Π΅Ρ€Π°Π³Π΅Ρ€Ρ†ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ сканирования ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹, способныС ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ постоянный Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ пятна ΠΏΠΎ всСму полю сканирования.

Рис. 1. Π’Π“Ρ† асфСричСская f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Π°

Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ для обСспСчСния Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ смСщСния Π»ΡƒΡ‡Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΡƒΠ³Π»Π° отклонСния, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ постоянной скорости сканирования Π½Π° плоской повСрхности. F-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΡΠ½Π½ΡƒΡŽ Ρ„Π°Π·Ρƒ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π’Π“Ρ† излучСния Π² плоскости сканирования ΠΈ высокоС Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ изобраТСния. Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°ΠΌΠΈ f-theta, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π±ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌ искаТСниСм, Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ пятна Π½Π° плоскости изобраТСния прямо ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡƒΠ³Π»Ρƒ сканирования. Π­Ρ‚Π° ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ устраняСт Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ слоТной элСктронной ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ позволяСт ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°Ρ‚ΡŒ Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΡƒΡŽ, ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΡƒΡŽ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ систСму сканирования.

НиТС ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² асфСричСской f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹.






ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»COC TOPAS (ЦикличСский ΠžΠ»Π΅Ρ„ΠΈΠ½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π‘ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ TOPAS)
Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€, ΠΌΠΌ100
Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π°, ΠΌΠΌ40.3
Π Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½, ΠΌΠΊΠΌ300-3000
ЀокусноС расстояниС, ΠΌΠΌΒ 90

Β 

Рис. 2. РаспрСдСлСниС напряТСнности элСктричСского поля Π’Π“Ρ† ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈ фокусировкС f-theta Π»ΠΈΠ½Π·ΠΎΠΉ

Рис. 3. Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€ пропускания f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 40 ΠΌΠΌ ΠΏΠΎ оси

На рис. 4 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Ρ‹ максимума Π’Π“Ρ† излучСния Π² фокусС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΡƒΠ³Π»Π° отклонСния (ΡƒΠ³Π»Π° падСния Π’Π“Ρ† излучСния Π½Π° f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρƒ). Как Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· рисунка, Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡƒΠ³Π»ΠΎΠ² ΠΎΡ‚ -25 Π΄ΠΎ +25 градусов данная Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ сканированиС плоской повСрхности с постоянной ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

Рис. 4. Π›ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ f-theta характСристики Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹

Π’Π“Ρ† асфСричСскиС f-theta Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ спСцификации Π·Π°ΠΊΠ°Π·Ρ‡ΠΈΠΊΠ°. Для выполнСния расчСта Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€, Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹, фокусноС расстояниС, ΡƒΠ³ΠΎΠ» сканирования, ΠΏΠΎΠ»Π΅ сканирования, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π°.

ДопустимыС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹:






ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»COC TOPAS (ЦикличСский ΠžΠ»Π΅Ρ„ΠΈΠ½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π‘ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ TOPAS)
Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€, ΠΌΠΌΠΎΡ‚ 25. 4 Π΄ΠΎ 200
Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π°, ΠΌΠΌΠ΄ΠΎ 200
Π Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½, ΠΌΠΊΠΌ300-3000
ЀокусноС расстояниС, ΠΌΠΌΠ΄ΠΎ 200

Для получСния ΠΊΠΎΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅, поТалуйста,Β  Π€ΠΎΡ€ΠΌΡƒ запроса.Β 

Π‘ΠΊΠ»Π°Π΄ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ

ΠŸΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ,Β  доступная для Π·Π°ΠΊΠ°Π·Π° ΠΈ готовая ΠΊ ΠΎΡ‚Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ΅.

Π‘ΠΊΠ»Π°Π΄ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

Условия приобрСтСния

ΠœΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π·Π°ΠΊΠ°Π·/ Доставка/ Условия ΠΎΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹/ Π“Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΠΈ…

Новый ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ 2022

Π˜ΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅Ρ€Π°Π³Π΅Ρ€Ρ†ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ спСктромСтр ITS-2

«Π’идСкс» ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π» ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅Ρ€Π°Π³Π΅Ρ€Ρ†ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ спСктромСтр ITS-1 ΠΈ создал Π½ΠΎΠ²ΡƒΡŽ модСль — ITS-2, которая являСтся комплСксным Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ для ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ€Π°Π³Π΅Ρ€Ρ†ΠΎΠ²ΠΎΠΉ спСктроскопии Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ области.

Π›ΠΈΠ½Π·Ρ‹ F-theta

< Π²Π΅Ρ€Π½ΡƒΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Ρƒ: ЛазСрная ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ°

< < Π²Π΅Ρ€Π½ΡƒΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€Ρƒ тСхничСского руководства

Как Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… пояснСниях ΠΏΠΎ LIDT, ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ для ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π° ΠΈ тСхнологичСских Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈ Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ ΡƒΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎ ΡŽΠ·Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΡ‚ΠΈ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ здСсь ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ основныС свойства Π»ΠΈΠ½Π·, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ для ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ², ΠΈ Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ для любого процСсса Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π°.

Π’Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠ΅ Π±Π»ΠΈΠΊΠΈ

ДвоякиС отраТСния ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ отраТСния Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π° отраТаСтся ΠΎΡ‚ повСрхности Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΠ½Π° ΠΊ ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌΡƒ элСмСнту Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹.

Β 

Π›Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‚Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ покрытиями, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ пСрСводят свСт ΠΎΡ‚ показатСля прСломлСния Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŽ прСломлСния основного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹. Π­Ρ‚ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ повСрхности с 4 % Π΄ΠΎ 0,2 %. НСсмотря Π½Π° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅, использованиС Π»ΠΈΠ½Π· с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡ€Π΅ΠΎΠ»Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ² SP ΠΈ USP часто ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³Π° поврСТдСния покрытия ΠΈΠ»ΠΈ объСмного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Β 

Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π»ΠΈΠ½Π· ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚ Π΄Π²ΡƒΡ… Π΄ΠΎ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈ Π»ΠΈΠ½Π·. РСшСниСм являСтся ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ конструкция, которая ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ появлСниС Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… ΠΎΡ€Π΅ΠΎΠ»ΠΎΠ² рядом с Π»ΡŽΠ±Ρ‹ΠΌ элСмСнтом ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°. ΠœΡ‹ Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΠ΅ΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ «бСспризорныС» Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Π² сочСтании с Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ высокой ΠΈ срСднСй мощности (Π΄ΠΎ ΠΊΠΈΠ»ΠΎΠ²Π°Ρ‚Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π°), Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ с ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ. ΠžΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ USP, ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ для использования, ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ Π±Π΅Π· Π±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌ β€’. Они состоят ΠΈΠ· стСкол с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΌ коэффициСнтом (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΈΠ· ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π°) Π±Π΅Π· ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ…-Π»ΠΈΠ±ΠΎ сцСмСнтированных повСрхностСй.

Π’Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠ΅ Π±Π»ΠΈΠΊΠΈ

Π‘Π»ΠΈΠΊΠΈ β€” это ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ отраТСния ΠΎΡ‚ повСрхностСй ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΠ½Π°. Π›Π°Π·Π΅Ρ€Ρ‹ высокой мощности способны ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒ оптичСскиС элСмСнты, располоТСнныС рядом с ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.

Β 

Π‘ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, фокус Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ Ρ„Π°Π½Ρ‚ΠΎΠΌΠ° располоТСн ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… стСклянной повСрхности Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°. Π›ΠΈΠ½Π·Ρ‹ с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡ€Π΅ΠΎΠ»Π°ΠΌΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π½Π΅ подходят для ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ².

Β 

Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Π΅ΡΡ‚ΡŒ внСшниС ΠΏΡ€ΠΈΠ·Ρ€Π°ΠΊΠΈ, фокусы ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… располоТСны Π²Π½Π΅ корпуса. Π’ этом случаС ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ бСзопасно ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Π΅ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Ρ‹. Но Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΄ΡƒΠΌΠ°Π½Π½ΠΎ Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°Ρ‚ΡŒ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ оптичСской систСмой. Если внСшний Ρ„Π°Π½Ρ‚ΠΎΠΌ находится ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… оптичСского элСмСнта (ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° сканСра), это ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡŽ.

Β 

Π’ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π΅, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ «позиция ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ отраТСния», Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ‹ всС ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… ΠΎΡ€Π΅ΠΎΠ»ΠΎΠ². РасстояниС измСряСтся ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ„ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ Π½Π° оптичСской оси ΠΈ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ΠΉ ΠΊΠ°Π΄Ρ€Π°. Π‘Ρ€Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ Π»ΡƒΡ‡ являСтся Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ для модСлирования. Наклон Π»ΡƒΡ‡Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ измСнСнию полоТСния внСшнСго Ρ„Π°Π½Ρ‚ΠΎΠΌΠ°. Из-Π·Π° этого оптичСскиС элСмСнты ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΌ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ полоТСния (минимальноС бСзопасноС расстояниС Π΄ΠΎ Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ полоТСния = нСсколько ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² (ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Π° Π°ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ сканСра)).

Π‘Ρ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎ ΠΈΠ· ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π° с ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ

ΠŸΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ† β€” это Ρ‚ΠΈΠΏ стСкла с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высоким сопротивлСниСм, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ коэффициСнт Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ оптичСскими стСклами. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΎΠ½ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… эффСктов. Sill Optics Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ покрытия с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ для всСх ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ² ΠΈΠ· ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π΅Ρ‰Π΅ большС ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ тСрмичСскиС эффСкты ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈ поврСТдСния. ΠŸΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ† Π² сочСтании с покрытиями с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ рСкомСндуСтся для использования со всСми ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ.

Π’ΠΎΡ‡Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ΅ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ для примСнСния с Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ USP

Im Jahr 1927 Werner Heisenberg Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π° UnschΓ€rferelation, die besagt, dass zwei complementΓ€re Eigenschaften eines Teilchens nicht gleichzeitig beliebig genau besttimmbar sind. Dieses PhΓ€nomen fΓΌhrt bei modernen ultrakurz gepulsten Lasern zu Problemen. Insbesondere bei sehr geringen Pulsdauern im Bereich von einigen hundert Femtosekunden kann die WellenlΓ€nge der emittierten Photonen nicht mehr genau bestimmt werden. Die bei langen Pulsen klar definierbare WellenlΓ€nge verschwimmt somit bei UKP-Lasern und fΓΌhrt zu einer ErhΓΆhung von deren Bandbreite. Dabei hΓ€ngt die IntensitΓ€t der spektralen Verbreiterung von der SollwellenlΓ€nge sowie der Pulsdauer ab. Je kΓΌrzer der Puls und je grâßer die WellenlΓ€nge, desto breiter ist der UnschΓ€rfebereich.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π»ΠΈΠ½Π·Π° Π±Π΅Π· Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠΈ создаСт сильно Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ пятно Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠ½Ρ‹Ρ… Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… прилоТСниях USP. Π‘ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ с Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Ρ€Π΅ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ эту ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡƒ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ часто ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° стСкла. ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ с высоким ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ подходят для примСнСния Π² USP ΠΈ быстро Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠΌΡ‹Π΅ поврСТдСния Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹.

Π₯отя полоса пропускания Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ² UKP ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ мСньшС Π² ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅, Ρ†Π²Π΅Ρ‚ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ, особСнно для ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΡ… Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½. Π’ Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ пятно ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° Π΅Ρ‰Π΅ примСняСтся с ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°ΠΌΠΈ Π±Π΅Π· Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠΈ, Π΅Π³ΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° Π² Π£Π€-Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ часто сильно отклоняСтся ΠΎΡ‚ номинальной. Достигнутая Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° Гаусса прСвращаСтся Π² ΡΠ»Π»ΠΈΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ. ΠŸΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ искаТСниС пятна Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ, сфокусированными со смСщСниСм Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ плоскости. Π‘ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ большС для сильно Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ, Ρ‡Π΅ΠΌ Π² Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… областях.

Компания Sill Optics ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ Π² своСм ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ³Π΅ Ρ‚Ρ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ с Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ для использования Π² соотвСтствии с USP, ΠΈ всСгда Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π° Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ подходящиС для ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Ρ‡ΠΈΠΊΠ° ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ с Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ фокусными расстояниями.

ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡƒΠ³ΠΎΠ» сканирования описываСт ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ³ΠΎΠ», ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ Π»ΡƒΡ‡ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΡƒΡŽ Π°ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π²ΠΈΠ½ΡŒΠ΅Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. Π˜ΠΌΠ΅ΠΉΡ‚Π΅ Π² Π²ΠΈΠ΄Ρƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ макс. ΡƒΠ³ΠΎΠ» мСханичСского сканирования, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ описываСт ΡƒΠ³ΠΎΠ» Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» сканирования, составляСт ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Ρƒ значСния ΡƒΠ³Π»Π° оптичСского сканирования.

Π›ΠΈΠ½Π·Ρ‹ F-theta ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для фокусировки Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π° Π½Π° плоскости плоского изобраТСния. Π˜Ρ… часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π² ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ систСмС с двумя Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°. Одно Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ Π·Π° ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΡƒΡ‡Π° Π² ΠΎΠ΄Π½Ρƒ сторону, Π° Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ – Π² ΠΏΠ΅Ρ€ΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΡƒΡŽ. Π’ цСлях модСлирования апСртурная Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΠ° размСщаСтся Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ посСрСдинС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΠΌΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ. Π’ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… прилоТСниях Π½Π΅Ρ‚ мСханичСской Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρ‹ для создания ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π°ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΡ‹. На ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ эскизС ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ‹ оптичСскиС элСмСнты, задСйствованныС Π½Π° оптичСской оси.

Π’Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ полоТСния Π»ΠΈΠ½Π· ΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ² ΠΈ спСцификаций ΠΈΠ· тСхничСского описания. ИспользованиС ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… расстояний Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π±Ρ‹ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΌ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠΌ. Но Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… прилоТСниях Π½Π΅Ρ‚ возмоТности для этих ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ сканСров, мСньшСго пространства для установки ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» сканСра, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ нСльзя достаточно Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ΠΈΡ‚ΡŒ. ИзмСнСниС полоТСния ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ измСнСнию спСцификации.

Если ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π»ΠΈΠ½Π·ΠΎΠΉ Ζ’-Ρ‚Π΅Ρ‚Π° ΠΈ сканСром, ΠΏΠΎΠ»Π΅ сканирования ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡΡ ΠΈΠ·-Π·Π° увСличСния высоты Π»ΡƒΡ‡Π° Π½Π° Π»ΠΈΠ½Π·Π΅. Π’ΠΈΠ½ΡŒΠ΅Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ максимальноС ΠΏΠΎΠ»Π΅ сканирования.

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ошибка тСлСцСнтричности ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, Ссли измСняСтся стопорноС расстояниС Π°ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. РасстояниС Π΄ΠΎ ΡƒΠΏΠΎΡ€Π° Π°ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π² Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ части Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρ‹ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…, являСтся Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΌ расстояниСм для минимальной ошибки тСлСцСнтричности.

Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ расстояния Π΄ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ расстояниями Π΄ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» для Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… извСстных ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ сканСров. Если Π²Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ расстояния Π΄ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π», ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ отраТСния ΠΎΡ‚ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» сканСра ΠΈΠ»ΠΈ рядом с Π½ΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚. Если Π²Ρ‹ мСняСтС ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ поля сканирования, ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ полоТСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ отраТСния, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ рядом с полоТСниями Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅Ρ‚ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… ΠΎΡ€Π΅ΠΎΠ»ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒ эти повСрхности.

Если Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π΅Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹, поТалуйста, Π½Π΅ ΡΡ‚Π΅ΡΠ½ΡΠΉΡ‚Π΅ΡΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΊ нашСй тСхничСской ΠΊΠΎΠΌΠ°Π½Π΄Π΅ Π·Π° измСнСниями Π² спСцификации ΠΈ позициями ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ отраТСния. ΠŸΠΎΠΆΠ°Π»ΡƒΠΉΡΡ‚Π°, сообщитС ΠΈΠΌ ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ вашСго Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈ

Π”ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° пятна прСдставляСт собой Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Π΄ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΡƒ, которая ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° пятна Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π΅Π³ΠΎ полоТСния Π² ΠΏΠΎΠ»Π΅. Π¦Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΎΡ‚ наимСньшСго значСния Π±Π΅Π»ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎ максимального значСния синСго. ОбС оси ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ макс. ΠΏΠΎΠ»Π΅ сканирования. Π¨ΠΊΠ°Π»Ρ‹ Π½Π° осях ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ [ΠΌΠΌ] со срСднСй Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ отсчСта. На Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΌ ΠΈ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π°Ρ… осСй Π²Ρ‹ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΡ‚Π΅ минимальноС/максимальноС ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ поля ΠΈ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ мСханичСского Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° [Β°].

Β 

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Π»ΡƒΡ‡Π° зависит ΠΎΡ‚ добротности Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π° MΒ² ΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π°. Π‘ΠΈΠ»Π» ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ MΒ² Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Π΅, поэтому ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ° выполняСтся ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ умноТСния фактичСской MΒ² Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π°. Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ пятна β€” это Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ 86,5 % (1/eΒ²) мощности Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π°.

Β 

Π”ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° пятна Π½Π΅ всСгда относится ΠΊ максимальной свСтосилС. Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… прилоТСниях ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π»ΡƒΡ‡Π° Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ высока, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²ΠΈΠ½ΡŒΠ΅Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ 1/eΒ² Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π±Ρ‹ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΡ‹ΠΌ. ΠŸΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½Π°Ρ информация ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π΅ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΌ Π² ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π² тСкстС ΠΏΠΎΠ΄ Π΄ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠΎΠΉ.

Β 

Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ Π΄ΠΈΠ·Π°ΠΉΠ½ΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ всСму полю сканирования. Но Π΄Π°ΠΆΠ΅ эти Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ пятна, ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π» мСняСтся Π² зависимости ΠΎΡ‚ поля сканирования. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ части Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡˆΠΊΠ°Π»Ρ‹ опрСдСляСт ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ этого измСнСния.

Β 

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€: Π”ΠΈΠ°Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° пятна Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Ζ’-Ρ‚Π΅Ρ‚Π° S4LFT4010/292

Π‘ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π»ΠΈΠ½Π·Π° являСтся тСлСцСнтричСской, Ссли всС Π»ΡƒΡ‡ΠΈ (Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ поля ΠΈ ΠΏΠΎ краям) Π²ΡΡ‚Ρ€Π΅Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ с Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ. Ошибка тСлСцСнтричности прСдставляСт собой ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ³ΠΎΠ» ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ сфокусированным Π»ΡƒΡ‡ΠΎΠΌ ΠΈ пСрпСндикуляром Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ плоскости. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ это Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ большС Π½Π° краях поля сканирования.

ИдСальная Ρ‚Π΅Π»Π΅Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π° Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ случаС, Ссли вСсь свСт исходит ΠΈΠ· ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ плоскости. Если расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ этой ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ корпуса Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ Π·Π°Π΄Π½Π΅ΠΌΡƒ фокусному Ρ€Π°ΡΡΡ‚ΠΎΡΠ½ΠΈΡŽ, Ρ‚ΠΎ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π»ΠΈΠ½Π·Π° являСтся тСлСцСнтричСской.
Β 

Π‘ΠΊΠ°Π½Π΅Ρ€ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° наклоняСт Π»ΡƒΡ‡ Π² направлСниях x ΠΈ y с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π΄Π²ΡƒΡ… сосСдних Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π». Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ получаСтся смСщСниС Π»ΡƒΡ‡Π°, зависящСС ΠΎΡ‚ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°. Для достиТСния Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ΠΉ тСлСцСнтричности Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΎΡ€Π΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ всС Π»ΡƒΡ‡ΠΈ (= Π·Π°Π΄Π½Π΅Π΅ фокусноС расстояниС), Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ посСрСдинС Π΄Π²ΡƒΡ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» сканСра. Если эта ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ большС Π½Π΅ находится ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ сканСра, Π»ΠΈΠ½Π·Π° Π½Π΅ являСтся тСлСцСнтричСской.

Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Sill рассчитаны Π½Π° ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΡƒ, Π½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡ… использованиС Π² сочСтании с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ сканСрами. ИзмСнСниС расстояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π° влияСт Π½Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ характСристики, ΠΊΠ°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ поля сканирования, Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ пятна ΠΈΠ»ΠΈ ошибка тСлСцСнтричности. Π€Π°ΠΉΠ»Ρ‹ Β«Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ящика» ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹ для ΠΈΠΌΠΈΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ спСцификаций ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ систСмы Π² ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠΉ срСдС. Π­Ρ‚ΠΎ относится Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΊ Π»ΠΈΠ½Π·Π°ΠΌ Ζ’-Ρ‚Π΅Ρ‚Π°, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΊ систСмам Π»ΠΈΠ½Π·, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π² ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ установку. Π­Ρ‚ΠΈ Ρ„Π°ΠΉΠ»Ρ‹ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ характСристики ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°, Π½Π΅ раскрывая Π΅Π³ΠΎ конструкции.

Β 

Для открытия Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„Π°ΠΉΠ» Π² ΠΏΠ°ΠΏΠΊΠ΅ Β«ZemaxΒ» β†’ Β«Π§Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ящик», Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ° ΠΈΠΌΠ΅Π»Π° доступ ΠΊ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ. ПослС этого Π²Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ Π²ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π½ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² свой Ρ„Π°ΠΉΠ» Π΄ΠΈΠ·Π°ΠΉΠ½Π° ΠΈ ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ для ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Β«Π’ΠΈΠΏ повСрхности» Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Β«Π›ΠΈΠ½Π·Π° Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ящика». Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π²ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ящик, Π²Π²Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ΅ имя Ρ„Π°ΠΉΠ»Π° Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ящика Π² ΠΏΠΎΠ»Π΅ Β«ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΉΒ» (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Β«f-theta-lens.ZBBΒ»). Π’ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠ΅, ΠΏΠΎ запросу ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„Π°ΠΉΠ» Black Box любого ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π° Sill.

Π›ΠΈΠ½Π·Π° F-Theta | Π»ΠΈΠ½Π·Π°, Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ для Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π° ΠΈ YAG-Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π° | ЛазСрная ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ° | ΠŸΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ² фокусируСт Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Π»ΡƒΡ‡, сканируСмый сканСром ΠΈ Ρ‚. Π΄. Он ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для высокоскоростного микросвСрлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, высокоскоростной ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ элСктронных Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ пластмассовых Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Ρ‚. Π΄.
ВысокоточныС тСлСцСнтричСскиС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ искаТСния ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Π»ΡƒΡ‡ ΠΏΠ°Π΄Π°Π» ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ пСрпСндикулярно ΠΊ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ΅. Он ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ микросвСрлСниС.
Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ нСтСлСцСнтричСскиС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ подходят для ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠ΅Ρ€ΠΎΠ², ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚. Π΄., для ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ быстро ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ большиС ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ.
Бтандартная Π»ΠΈΠ½Π·Π° F-Theta для Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π° с Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ 1064 Π½ΠΌ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π°, ΡΠ²ΡΠΆΠΈΡ‚Π΅ΡΡŒ с Π½Π°ΠΌΠΈ.

Π’ΠΈΠ΄Π΅ΠΎ ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Π΅

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ спСцификаций

ВысокомощноС Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½ΠΎ/Π»Π°Π·Π΅Ρ€ Π±Π»ΠΈΠΆΠ½Π΅Π³ΠΎ инфракрасного Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° (Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ 1030–1090 Π½ΠΌ, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»: ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†)

ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ схСма β„– Π”Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ (Π½ΠΌ) Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ фокусноС расстояниС (ΠΌΠΌ) Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ° (ΠΌΠΌΓΈ) ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ сканирования (ΠΌΠΌ ΠΊΠ².) ВСлСцСнтричСская ошибка (градусы) Макс. внСшний Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ (Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ (ΠΌΠΌ) Γ— Π΄Π»ΠΈΠ½Π° (ΠΌΠΌ)) ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΡ
Π€Π£1Π€100.3Π­10Π‘35ВА 1030~1090 100,3 10 35 1,2 99Γ—78,5 *1,*2
Π€Π£1Π€163. 5Π­15Π‘90ВА 1030~1090 163,5 15 90 5,7 150Γ—99 *1,*2
ЀК1Π€100Π­12Π‘30ВА 1030~1090 100 12 30 2,5 100Γ—123 γ€€
ЀК1Π€100Π­12Π‘35ВА 1030~1090 100 12 35 4.1 130Γ—123 *2
ЀК1Π€100Π­20Π‘20ВА 1030~1090 100 20 20 2,7 116Γ—123 γ€€
ЀК1Π€100Π­20Π‘30ВА 1030~1090 100 20 30 3,3 106Γ—121 γ€€
ЀК1Π€160Π­14Π‘50ВА 1030~1090 160 14 50 2 130Γ—110 γ€€
ЀК1Π€165Π­12Π‘50ВА 1030~1090 165 12 50 3,7 130Γ—176 γ€€
ЀК1Π€180Π­20Π‘100ВА 1030~1090 180 20 100 2 200Γ—197 γ€€
ЀК1Π€210Π­10Π‘130ВА 1030~1090 210 10 130 2,2 227Γ—160 γ€€
ЀК1Π€240Π­20Π‘75ВА 1030~1090 240 20 75 3,5 137Γ—130 γ€€
Π€Π£1Π€277Π­20Π‘90ВА 1030~1090 277 20 90 6,7 108Γ—70 *2
ЀК1Π€330Π­10Π‘80ВА 1030~1090 330 10 80 3. 1 118Γ—180 *2
ЀК1Π€400Π­25Π‘200А 1030~1090 400 25 200 11,3 160Γ—91 γ€€
ЀК1Π€450Π­30Π‘200А 1030~1090 450 30 200 10,8 166Γ—118 γ€€

*1: Π’ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ, *2: ΠœΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Π°Ρ Ρ€Π΅Π·ΡŒΠ±Π° (M85)

YAG / Π›Π°Π·Π΅Ρ€ Π±Π»ΠΈΠΆΠ½Π΅Π³ΠΎ инфракрасного Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π°

(Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ 1030–1090 Π½ΠΌ, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»: стСкло)

ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ схСма β„– Π”Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ (Π½ΠΌ) Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ фокусноС расстояниС (ΠΌΠΌ) Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ° (ΠΌΠΌΓΈ) ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ сканирования (ΠΌΠΌ ΠΊΠ².) ВСлСцСнтричСская ошибка (градусы) Макс. внСшний Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ (Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ (ΠΌΠΌ) Γ— Π΄Π»ΠΈΠ½Π° (ΠΌΠΌ)) ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΡ
Π€Π‘1Π€45Π­10Π‘12А 1030~1090 45 10 12 9,9 100Γ—125 *2
Π€Π‘1Π€50Π­20Π‘10ВА 1030~1090 50 20 10 3,4 130Γ—123 *2
Π€Π‘1Π€70Π­20Π‘15ВА 1030~1090 70 20 15 7,4 152Γ—221 *2
Π€Π‘1Π€80Π­10Π‘30ВА 1030~1090 80 10 30 5.1 120Γ—168 γ€€
Π€Π‘1Π€80Π­20Π‘25ВА 1030~1090 80 20 25 2,0 150Γ—138 *2
Π€Π‘1Π€100Π­20Π‘25ВА 1030~1090 100 20 25 5,2 150Γ—174 γ€€
Π€Π‘1Π€100Π­25Π‘40А 1030~1090 100 25 40 9,6 145Γ—181 γ€€
Π€Π‘1Π€120Π­14Π‘55ВА 1030~1090 120 14 55 3. 1 129Γ—132 *2
Π€Π‘1Π€135Π­30Π‘40ВА 1030~1090 135 30 40 3 130Γ—150 γ€€
Π€Π‘1Π€160Π­30Π‘40ВА 1030~1090 160 30 40 2,5 130Γ—110 γ€€
Π€Π‘1Π€163Π­14Π‘80ВА 1030~1090 163 14 80 6.1 130Γ—86 γ€€
Π€Π‘1Π€163Π­20Π‘90А 1030~1090 163 20 90 15,3 145Γ—84 γ€€
Π€Π‘1Π€200Π­15Π‘120А 1030~1090 200 15 120 16 170Γ—200 γ€€
Π€Π‘1Π€200Π­20Π‘100А 1030~1090 200 20 100 12,8 136Γ—177 γ€€
Π€Π‘1Π€300Π­25Π‘50ВА 1030~1090 300 25 50 7 110Γ—159 *2
Π€Π‘1Π€310Π­30Π‘210А 1030~1090 310 30 210 25,8 210Γ—257 γ€€
Π€Π‘1Π€370Π­20Π‘170А 1030~1090 370 20 170 20 145Γ—168 γ€€
Π€Π‘1Π€400Π­20Π‘200А 1030~1090 400 20 200 12,8 130Γ—75
Π€Π‘1Π€450Π­30Π‘300А 1030~1090 450 30 300 26,3 210Γ—218 γ€€
Π€Π‘1Π€630Π­20Π‘300А 1030~1090 630 20 300 13,6 130Γ—73 γ€€

*2: ΠœΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Π°Ρ Ρ€Π΅Π·ΡŒΠ±Π° (M85)

YAG SHG / Π—Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ Π»Π°Π·Π΅Ρ€

(Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ 532 Π½ΠΌ, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»: стСкло ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†)

ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ схСма β„– Π”Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ (Π½ΠΌ) Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ фокусноС расстояниС (ΠΌΠΌ) Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ° (ΠΌΠΌΓΈ) ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ сканирования (ΠΌΠΌ ΠΊΠ². ) ВСлСцСнтричСская ошибка (градусы) Макс. внСшний Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ (Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ (ΠΌΠΌ) Γ— Π΄Π»ΠΈΠ½Π° (ΠΌΠΌ)) ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΡ
Π€Π£2Π€100Π­10Π‘35ВА 532 163,9 10 90 1,3 99Γ—78,7 *1,*2
Π€Π£2Π€163.9Π­10Π‘90ВА 532 100 10 35 4,9 122Γ—98 *1,*2
Π€Π‘2Π€70Π•10Π‘25ВА 532 70 10 25 4,9 150Γ—134 *2
Π€Π‘2Π€87Π­15Π‘20ВА 532 87 15 20 0,7 115Γ—132 γ€€
Π€Π‘2Π€100Π•20Π‘20ВА 532 100 20 20 5,2 150Γ—174 γ€€
Π€Π‘2Π€125Π•9Π‘45ВА 532 125 9 45 1,9 114Γ—109 γ€€
Π€Π‘2Π€165Π•14Π‘90А 532 165 14 90 9,8 174Γ—216 γ€€
Π€Π‘2Π€200Π­15Π‘50ВА 532 200 15 50 3,5 90Γ—66
Π€Π‘2Π€206Π­10Π‘50ВА 532 206 10 50 0,7 90Γ—68 γ€€
Π€Π‘2Π€7230Π­20Π‘100ВА 532 230 20 100 4,7 163Γ—153 γ€€
Π€Π‘2Π€250Π•7. 5Π‘160А 532 250 7,5 160 10,9 160Γ—83 γ€€
Π€Π‘2Π€250Π•15Π‘120А 532 250 15 120 23 140Γ—172 γ€€
Π€Π‘2Π€370Π­20Π‘170А 532 370 20 170 19,9 145Γ—164 γ€€
Π€Π‘2Π€400Π­20Π‘50ВА 532 400 20 50 3.1 110Γ—87 *2
Π€Π‘2Π€600Π•30Π‘230А 532 600 30 230 8,5 206Γ—162 γ€€
Π€Π‘2Π€633Π•30Π‘300А 532 633 30 300 13 158Γ—88 γ€€

*1οΌšΠ’ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ, *2οΌšΠšΡ€Π΅ΠΏΠ΅ΠΆΠ½Π°Ρ Ρ€Π΅Π·ΡŒΠ±Π° (M85)

YAG THG / Π£Π€-Π»Π°Π·Π΅Ρ€

(Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹: 355 Π½ΠΌ, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»: ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†)

ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ схСма β„– Π”Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ (Π½ΠΌ) Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ фокусноС расстояниС (ΠΌΠΌ) Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ° (ΠΌΠΌΓΈ) ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ сканирования (ΠΌΠΌ ΠΊΠ². ) ВСлСцСнтричСская ошибка (градусы) Макс. внСшний Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ (Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ (ΠΌΠΌ) Γ— Π΄Π»ΠΈΠ½Π° (ΠΌΠΌ)) ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΡ
Π€Π£3Π€100.2Π­10Π‘35ВА 355 100,2 10 35 1,2 99Γ—78,7 *1,*2
Π€Π‘3Π€77Π­15Π‘10ВА 355 77 15 10 0,6 81Γ—153 *2
Π€Π‘3Π€86Π•7Π‘20ВА 355 86 7 20 2,9 105Γ—111 γ€€
Π€Π‘3Π€100Π­4Π‘34ВА 355 100 4 34 2,5 130Γ—113 γ€€
Π€Π‘3Π€100Π­10Π‘36ВА 355 100 10 36 1,3 130Γ—110 γ€€
Π€Π‘3Π€100Π•12Π‘25ВА 355 100 12 25 3,5 122Γ—125 γ€€
Π€Π‘3Π€100Π­12Π‘35ВА 355 100 12 35 3 120Γ—111
Π€Π‘3Π€110Π­9Π‘50ВА 355 110 9 50 2,9 125Γ—149 γ€€
Π€Π‘3Π€112Π­8Π‘50ВА 355 112 8 50 2,7 120Γ—150
Π€Π‘3Π€125Π­9Π‘50ВА 355 125 9 50 1,8 120Γ—96 γ€€
Π€Π‘3Π€150Π­15Π‘50ВА 355 150 15 50 1,2 154Γ—124 γ€€
Π€Π‘3Π€160Π­13Π‘50ВА 355 160 13 50 1,6 120Γ—110 γ€€
Π€Π‘3Π€170Π­10Π‘65А 355 170 10 65 6,3 104Γ—66 *2
Π€Π‘3Π€175Π­30Π‘35ВА 355 175 30 35 0,9 135Γ—141 γ€€
Π€Π‘3Π€240Π­13Π‘75ВА 355 240 13 75 3,2 122Γ—130 γ€€
Π€Π‘3Π€257Π­6Π‘106ВА 355 257 6 106 0,8 197Γ—268 γ€€
Π€Π‘3Π€290Π­10Π‘100ВА 355 290 10 100 0,6 192Γ—248 *2
Π€Π‘3Π€300Π­4Π‘54ВА 355 300 4 54 4,5 85Γ—72 γ€€
Π€Π‘3Π€350Π­15Π‘120А 355 350 15 120 14 135Γ—201 γ€€
Π€Π‘3Π€350Π­30Π‘75ВА 355 350 30 75 3,3 131Γ—120 γ€€
Π€Π‘3Π€400Π­10Π‘200А 355 400 10 200 12,1 130Γ—87 γ€€
Π€Π‘3Π€400Π­20Π‘50ВА 355 400 20 50 3. 1 130Γ—87 *2
Π€Π‘3Π€430Π­20Π‘100А 355 430 20 100 5,9 136Γ—207 *2
Π€Π‘3Π€500Π­10Π‘110ВА 355 500 10 110 3,4 135Γ—244 *2
Π€Π‘3Π€630Π­30Π‘300А 355 630 30 300 19,9 180Γ—202 γ€€
Π€Π‘3Π€660Π­20Π‘300А 355 660 20 300 8,6 229Γ—229 γ€€

*1οΌšΠ’ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ, *2οΌšΠšΡ€Π΅ΠΏΠ΅ΠΆΠ½Π°Ρ Ρ€Π΅Π·ΡŒΠ±Π° (M85)

Π›Π°Π·Π΅Ρ€ YAG FHG / DUV

(Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹: 266 Π½ΠΌ, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»: ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†)

ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ схСма β„– Π”Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ (Π½ΠΌ) Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ фокусноС расстояниС (ΠΌΠΌ) Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Ρ€Π°Ρ‡ΠΊΠ° (ΠΌΠΌΓΈ) ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ сканирования (ΠΌΠΌ ΠΊΠ².

ВсСго ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠ΅Π²: 0

ΠžΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΉ

Π’Π°Ρˆ email Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½.

Π’Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ HTML тэги: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <s> <strike> <strong>